根據《獨立審計具體準則第5號——審計證據》的規定，在審計過程中可以采用檢查、監盤、觀察、查詢及函證、計算、分析性復核等審計程序（或審計方法）來獲取審計證據。
(一)檢查記錄或文件。
檢查記錄或文件是指注冊會計師對被審計單位內部或外部生成的，以紙質、電子或其他介質形式存在的記錄或文件進行審查。
檢查記錄或文件包括注冊會計師對會計記錄和其他書面文件可靠程度的審閱與復核。審閱是為了發現有無不正常現象而批判性地閱讀書面資料的審計技術，其目的在于確認書面文件是否真實、合法；復核是確認各種書面文件之間鉤稽關系的審計技術，通過書面文件之間的對照檢查，確認雙方對交易或事項的記錄是否一致、計算是否正確。 (二)檢查有形資產。
檢查有形資產是指注冊會計師對資產實物進行審查。運用這種方法的目的在于確定被審計單位實物形態的資產是否真實存在并且與賬面數量相符，查明有無短缺、毀損及其他舞弊行為。它主要適用于存貨和現金的檢查，也適用于有價證券、應收票據和固定資產等。監盤是其常用的操作技術。
(三)觀察。
觀察是指注冊會計師察看相關人員正在從事的活動或執行的程序。注冊會計師按照審計具體目標的要求，前往被審計單位的工作現場，察看業務活動的方法、程序及實施情況，以掌握整個業務活動或執行程序的實際情況，獲取審計證據。
(四)詢問。
詢問是指注冊會計師以書面或口頭方式，向被審計單位內部或外部的知情人員獲取財務信息和非財務信息，并對答復進行評價的過程。
(五)函證。
函證是指注冊會計師為了獲取影響財務報表或相關披露認定的項目的信息，通過直接來自第三方對有關信息和現存狀況的聲明，獲取和評價審計證據的過程。實施函證的目的是證實影響財務報表或相關披露認定的賬戶余額或其他信息，從外部獨立來源來獲取強有力的審計證據。
(六)重新計算。 重新計算是指注冊會計師以人工方式或使用計算機輔助審計技術，對記錄或文件中的數據計算準確性進行核對。注冊會計師往往需要對文件或記錄中的數字大量地實施重新計算，以驗證其是否正確，獲取必要的審計證據。
(七)重新執行。
重新執行是指注冊會計師以人工方式或使用計算機輔助審計技術，重新獨立執行作為被審計單位內部控制組成部分的程序或控制。實施重新執行可以驗證被審計單位內部控制的有效性，獲取內部控制是否有效的審計證據。
(八)分析程序。
分析程序是指注冊會計師通過研究不同財務數據之間以及財務數據與非財務數據之間的內在關系，對財務信息作出評價。分析程序還包括調查識別出的、與其他相關信息不一致或與預期數據嚴重偏離的波動和關系
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